東北大学オープンイノベーション戦略機構

プロジェクト

マテリアルサイエンス分野電極配線材料イノベーションプロジェクト

東北大学 工学研究科  小池 淳一 教授

責任者東北大学 工学研究科 小池 淳一 教授

プロジェクトの目的

シリコンLSIにおいて、ポストムーア時代のボトルネック解消のため次世代・多層配線用の新規配線材料(バリアフリー配線材料)及び新規バリア材料(合金系バリア層材料)を開発し、ポストムーア時代のLSIを実現する。

LSI・多層配列の断面

研究内容の説明

  • 2nmノード以降のチップでも低抵抗と高信頼性を維持できるバリアフリーの新規配線材料を開発する。
  • 当該技術が可能となればポストムーア時代の壁を突破する世界待望の快挙となる。
  • 右図のような上流から下流までの企業を大学が結ぶ垂直型コンソーシアムを形成し本プロジェクトを推進する。
  • 一方で、現行銅配線を維持しながら微細配線を可能にする新規バリア層(合金)材料を開発する。

    新規バリア層の開発

Mooreの法則

垂直統合型コンソーシアム

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